5纳米约为头发丝直径的1/15000，制造5纳米逻辑器件，要用目前全球最先进的集成电路技术。中微半导体设备（上海）股份有限公司自主研发的甚高频去耦合反应离子刻蚀机，已在5纳米芯片生产厂核准，近日投入量产并实现批量销售。今年，在美国半导体市场咨询公司VLSI Research开展的半导体设备企业评比中，中微公司成为全球5家五星级企业之一。其设备产品已进入国内外40多条芯片生产线。
15年前，尹志尧博士带领14名半导体设备行业的华人技术和管理专家来到上海张江，创立了中微半导体设备（上海）有限公司。从那以后，上海相关部门一直与这家企业风雨同舟，上海创投和此后组建的上海科创投集团对它进行了多轮战略投资，成为中微的第一大股东。国家集成电路产业投资基金成立后，将中微作为第一个投资对象，如今是第二大股东。这两大股东并不干预企业运营，使中微一直保持自主灵活的发展策略。
今年7月，中微成为首批科创板上市公司之一。其自主研发的等离子体刻蚀机、MOCVD（金属有机化学气相沉积设备）等“国之重器”，将得到资本市场更大的支持。
从没人愿投到争相投资
中微公司董事长兼总经理尹志尧说，他与合作伙伴的创业之路“源自退休时的一闪念”。17年前，上海市政府副秘书长江上舟与尹志尧等一批海外华人留学生座谈，触发了他回国创业的念头。当时，他已从美国应用材料公司副总裁岗位上退休，本可以过上安逸的晚年生活。然而2014年，他带领14名华人专家回到祖国，创立了中微。
“当时的市领导非常支持我们，把中微要研发的半导体化学薄膜制造及等离子体刻蚀设备列入上海市科教兴市项目。”尹志尧回忆。在相关协议中，上海创投承诺对中微投资5000万元。
凭借这份协议，中微创始团队开始在国内融资。我国15年前的集成电路投资环境，与如今相去甚远。多家大型国企、民企和投资公司研究了中微项目后，都不肯投资，因为他们不了解半导体设备行业，而且半导体关键设备研发投入巨大，国际市场已被美日少数几家企业垄断。无奈，尹志尧只得前往美国硅谷融资，那里的许多风投机构看好这个华人创业团队。在硅谷，中微完成了华登国际领投的3949万美元A轮融资。
尹志尧博士走上2018上海科技节红毯。
此后15年间，我国集成电路产业政策和投资环境越来越好，这反映在中微的融资进程中：从C轮起，上海科创投集团领投了这家上海企业；从D轮起，投资机构主要来自中国，包括国开金融、国家集成电路产业投资基金等巨头。“从国内投资机构不敢投、不愿投，到众多机构争相投资，我国集成电路产业经历了翻天覆地的变化。”尹志尧感叹。
3次被美企起诉立于不败
“中微的成长历程，可谓九死一生。”上海科创投集团副总经理朱民说，3家美国半导体设备企业对中微轮番发起知识产权诉讼，就是决定企业生死的坎。
尹志尧2004年带领创业团队回国时，处于垄断地位的美国半导体设备企业认为中微不可能挑战它们。然而4年后，中微自主研发的等离子体刻蚀机进入了中芯国际生产线，还将进入台湾最先进的芯片生产线。得知这个消息，国际半导体设备龙头企业应用材料公司坐不住了，向美国联邦法院起诉中微侵犯其商业秘密。这是一次没有证据的起诉，但按照美国法律，被告必须自证清白。中微选择积极应对，聘美富律师事务所对其进行调查。这家律所耗时两年半，查阅了600多万份中微文件以及30多名曾在应用材料工作的员工个人文件和电脑，认定他们是清白的。最终，应用材料与中微达成诉讼和解，并表示今后可开展项目合作。
2009年，由于中微刻蚀设备将进入更多的台湾芯片生产线，国际最先进的等离子体刻蚀设备厂商泛林集团出手了，向台湾地区智慧财产法院起诉中微侵犯其两个专利权。对于专利官司，中微早有准备。他们就深入研究了国际竞争者、客户和零部件供应商的数千件相关专利，分析哪些专利有前置专利，实际上是无效的，哪些则不可逾越。他们还非常重视专利保护，截至今年6月底，已申请1280件专利，其中发明专利1118件；已获授权专利961件，其中发明专利814件。凭借自主创新和专利战略，泛林起诉8个月后被判专利无效而败诉。之后，这家美企又上诉4次，全部败诉。
中微公司研发人员在操作等离子体刻蚀机。
2017年，中微遇到一道更大的坎。国际领先的MOCVD制造商维易科公司向纽约东区法院起诉中微一家德国供应商，认为它根据中微设计制造的反应器旋转托盘侵犯其专利权。当时，中微研发的MOCVD正在大举进入国内外市场，动了这家美企的奶酪。纽约东区法院在未作出中微是否侵权的裁决前，就向中微实施旋转盘禁运。旋转盘是生产MOCVD的消耗件，禁运可造成使用中微设备的LED（发光二极管）生产厂停产。为了反击，中微向中国国家知识产权局提出维易科专利无效申请，并向福建高院起诉维易科公司的旋转盘设计侵犯中微专利权。2017年11月，国家知识产权局专利复审委作出审查决定，确认中微专利有效。福建高院随即对维易科的MOCVD实施禁运。去年2月，中微及其德国供应商与维易科达成诉讼和解，友好解决了所有未决纷争。
期权激励吸引各国人才
上海科创投集团总经理沈伟国认为，中微在历次诉讼中立于不败之地的原因有两方面：内因是公司先进的管理理念、强大的研发能力和严格的知识产权管理制度，外因是国家和上海相关部门的长期支持。
中微开发产品遵循十大原则：为达到工艺加工的最高要求和最好性能而设计，为实现工艺过程的重复性和稳定性而设计，为设备的可靠性和耐用性而设计……在这些原则的引导下，中微开发的微观加工高端设备性能优、成本低、操作简单且稳定可靠。
中微团队的国际化程度很高，外籍员工约占员工总数的四分之一，来自10个国家和地区。研发团队结构完整，200多人的专业背景覆盖30多个学科，为高度复杂的设备研发奠定了基础。
全员期权激励，是中微吸引人才、留住人才的一大秘诀。尹志尧非常认同马克思的剩余价值理论，认为企业的价值是由资本投入和劳动创新产生的，所以劳动创新所创造的剩余价值，应该有一部分以期权或股权形式回馈给所有员工，无需员工像股东一样出资购买。“这种全员期权激励制度，是硅谷众多企业发展壮大的关键因素。对高科技企业来说，在实验室和客户端第一线的工程技术和管理人员是创新的中坚力量，全员期权激励能最大限度地激发他们的工作积极性，使员工把自己的长远利益与公司发展紧密联系起来。”本着这种理念，中微700多名在职员工都拥有公司股份，了公司上市后的喜悦。
中微公司研发人员在操作MOCVD设备。
“店小二”助力登陆科创板
15年发展历程中，中微得到了来自国家和上海的鼎力相助。从2009年起，中微成为国家科技重大专项“极大规模集成电路制造技术及成套工艺”首批承担单位之一，先后承担了5个项目，在等离子体刻蚀机多项关键核心技术上取得突破。
2012年，在上海市领导支持下，尹志尧等4位上海集成电路领军人物联名致信中央，建议将半导体芯片工业作为国家重点扶持的战略性产业，在未来10—20年内实现跨越式发展。这封信得到了中央领导的高度重视。2014年6月，工业和信息化部发布《国家集成电路产业发展推进纲要》，决定设立国家集成电路产业投资基金。这个基金投资的第一家企业，就是中微。近年来，尹志尧等人向证监会和上交所提出的一系列科创企业上市政策建议，也得到了领导的高度重视。
不忘初心、风雨同舟，这家上海企业终于成功上市。“真是不可思议！”朱民感慨道，“从宣布设立科创板并试点注册制，到中微公司上市，前后只有8个多月。”不可思议的背后，是科创板对高科技企业的扶持，为这类企业打通资本市场创造了条件。不可思议的背后，还有政府部门的“店小二”服务。为推动中微登陆科创板，市国资委多次召开专题研究会，提出评估备案、产权登记和国资确权的工作方案。多位公务员加班加点，审核中微15年历史沿革涉及的各项国资监管程序。为加快中微的工商变更登记，市市场监管局变“串联审批”为“并联推进”，为公司获批上市赢得了宝贵时间。在中微发展历程中，市发改委、市财政局、市经信委、市科委等部门也给予了大力支持。
站在新的起点上，尹志尧对公司未来充满了信心：“我们首先要以有机生长为主，开发下一代更先进的等离子体刻蚀机和化学薄膜设备，继续扩大市场占有率。我们要通过并购与合作，和国内外设备公司协同发展，扩展自身业务。我们还要积极寻找和公司核心技术相关的新增长点。”可以预见，在这个“国之重器”领域，“中国创造”将具有越来越大的全球影响力。
栏目主编：黄海华 文字编辑：俞陶然 题图来源：中微公司 提供 图片编辑：徐佳敏